 |
|
|
|
|
|
|
 |
 |
 |
 |
|
||
 |
 |
|
||||
 |
 |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
||||
|
|
|
||||
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
|
|
 |
|
|
|||
|
|
||||||
|
|||||||
| Ders Kodu: | EE 438 | ||||||
| Ders Adı ve Kredi: | Tümleşik Devre Teknolojisi (3-0) 3 | ||||||
| Ders İçeriği: | CMOS teknolojisine genel bakış. MOS’un çalışması ve anahtar parametreleri. Temiz odalar, pul temizleme. Litografi. Temeller. Faz maskeleri. Oksitleme – matematiksel modeller. Katkı difüzyonu. İyon ekme. İnce film çökeltme. İnce filmlerin özellikleri. Islak oyma ve plasma ile oyma. Metalizasyon: Kontaklar, ölçme yöntemleri. Karma tümleşik devre üretimi.
|
||||||
| Önkoşulları: | EE 312 veya öğretim elemanının onayı | ||||||
| Önkoşul Olduğu Dersler: | |||||||
Ders web sayfaları için EE LMS sitesini ziyaret ediniz. |
|||||||
| | Ana
Sayfa | Bölüm
Hakkında | Akademik
Programlar | Araştırma | Çalışanlar | Laboratuarlar | İletişim | Haber | | Üniversite Web Sayfası | Mühendislik Fakültesi Web Sayfası | |
1996-2006© ATILIM UNİVERSİTESİ, Kızılcaşar
Köyü;, 06836, İncek / Ankara
Tel: +90 312 586 80 00, Fax: +90 312 586 80 91